真空測量中熱偶真空計的概述

　　在真空技術中，需要測量各種參數，其中zui重要的是真空度，而測量真空度的範圍很廣，這樣寬的壓強範圍不可能隻用某一種通用的真空計來進行測量。目前，根據氣體壓強的各種物理現象研製了各式各樣的真空計，供真空測量所用。

　　現有U形真空計、壓縮真空計、熱偶真空計、電離真空計、放射性真空計和磁控放電真空計等.

　　zui常見的真空計是熱偶真空計。

　　在低真空下，氣體的導熱性和壓強有關，壓強愈高，則分子密度就愈大，氣體的導熱性就愈好;反之，當壓強愈低(即真空度愈高)時，氣體的導熱就愈差.利用氣體導熱性與真空度之間的關係，製成各種類型的熱傳導真空計。

　　常用的熱偶式真空計(簡稱熱偶計)結構比較簡單，真空計管(又稱規管)由玻璃製作，管內兩根支架上焊一根熱絲(FTF)，另外兩根支架上焊接一對熱電偶(ET和NT),熱絲和熱偶在交叉點T焊接或連接。熱絲的加熱電源由穩定電源供給，其大小由電位器W調節，用毫伏表G測量R上電壓降，便知加熱電流大小。當接通熱絲電K時.熱偶兩端產生的熱電勢也可用毫伏表G測量.

　　在測量時應保持熱絲的加熱電流不變.由於熱偶計規管製造時其特性有差異，每個規管的工作電流也不一樣，一般在100~120mA之間.在使用規管之前，首先要確定加熱電流的大小，一般規管在出廠之前都會進行封口.因此，規管在沒打開之前.先將它的工作電流測出。長期工作後，由於熱絲表麵玷汙汙等原因，使規管特性有所變化，在清洗後要重新確定熱絲加熱電流.

　　熱偶計的優點是可測蒸氣和氣體總壓強.能連續指示係統中壓強變化.結構簡單，使用方便，還可遠距離測量。其缺點是讀數與氣體種類有關，有熱慣性，讀數滯後於壓強的變化，環發溫度變化對測量稍有影響。