2XZ直聯式真空泵
直聯式真空泵有偏心地裝在泵腔內的轉子,及轉子槽內的旋片。轉子帶動旋片旋轉時,旋片緊貼腔壁,把進、排氣口分隔開來,並使進氣積腔容積周期性地擴大而吸氣,排氣腔容積則周期性地縮小而壓縮氣體,推開排氣閥排氣,從而獲得真空。圖一為單級泵的工作原理示意圖。雙級是兩個單級串聯而成。
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更新日期
2024-10-23 - 02
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