熱偶真空計工作原理

利用氣體(ti) 分子的熱傳(chuan) 導現象，可能測量的壓力範圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細線溫度同時,也受到細線本身的固體(ti) 熱傳(chuan) 導和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡單，價(jia) 格低廉。

工作原理：

熱電偶接在白金或鎢的細線上。這段細線通過電流後會(hui) 發熱。發出的熱量通過周圍氣體(ti) 分子的熱傳(chuan) 導,或細線本身的固體(ti) 熱傳(chuan) 導,或熱輻射放出。利用氣體(ti) 分子承擔的熱傳(chuan) 導量與(yu) 壓力成正比的特點是此真空計的原理。

如果保持細線的發熱量即保持一定的電流,則周圍壓力高的時候氣體(ti) 奪走的熱量較多,致使細線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細線的溫度會(hui) 升高。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出來,將熱電偶的起電力換成壓力之後即可知真空腔內(nei) 的壓力。