淺析電子真空計的測量範圍

　　淺析電子真空計的測量範圍
　　電子真空計在壓力測量中，除極少數直接測量外，絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象，然後再測量這一過程中與壓力有關的物理量，進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點，亦會造成某些問題。
　　任何具體物理現象與壓力的關係，都是在某一壓力範圍內才zui顯著，超出這個範圍，關係變得弱了。因此，任何方法都有其一定的測量範圍，這個範圍就是電子真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程，是真空科學研究的重要內容之一。近代真空技術所涉及到的壓力範圍寬達19個數級(105～10-14pa)，沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力範圍，因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區域。但由於不同型號的電子真空計在原理上的差異．在相互銜接的區域，往往要造成較大的誤差。
　　在被測空間引起一定物理現象，還會出現這樣的問題，即從測量的角度出發，本需要一種單純的物理現象，但有時卻不可避免地帶來一係列寄生現象，這些寄生現象不但給測量量帶來誤差，有時還會“喧賓奪主”，*把主要現象掩蓋住了。為改善電子真空計性能及提高真空測量準確度，必須突出主要現象，抑製寄生現象。