討論數字式真空計的應用

　　討論數字式真空計的應用
　　在真空裝置自動控製中，往往要進行真空測量，由於真空裝置種類繁多、工作壓力範圍也不盡相同，因此，各個真空區域的真空測量均會遇到。通常使用的真空計有數字式真空計、電阻式真空計等等。為了拓展真空計的功能，真空儀器廠家還生產包括遙控遙測、模擬量輸出、RS-232C等通信接口、壓力調節等功能模塊板供用戶選配。因此，一個配置齊全的真空計，不僅能進行真空度測量、數字顯示、量程自動切換、誤差自動修正，而且能在壓力設定點發出控製信號去進行壓力控製，按設定壓力值進行壓力自動調節，還能將測量值打印記錄，並與上位機進行通信，甚至還能進行遠距離真空測童與控製。
　　在工業生產和科學實驗中，往往希望真空裝置的真空室中的真空度能按真空工藝的要求，維持在某一給定值上。這種要求通常可以通過手動調節真空微調閥來完成，倘若希望自動地完成壓力調節，就要借助於數字式真空計來完成。它通常由真空測量單元(真空計)、壓力自動調節電路和真空調節閥組成，它是集真空測量與壓力調節於一體的自動控製儀器。
　　數字式真空計的主要技術指標是壓力控製範圍、控製精度、流量控製範圍、反應時間等。它取決於其配用的真空規管、控製電路及真空調節閥的性能。數字式真空計廣泛應用於離子注人、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術及半導體材料等領域，其使用的環境條件與同類型的真空計大致相同。